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半导体洁净室的控制参数有哪些?

2019-08-13 15:43:24   责任编辑: 钜宏股份    0

在半导体行业中,洁净室的作用在于控制半导体产品所接触大气的洁净度及温湿度,使产品能够在一个良好的环境空间中生产、制造,而合格的洁净室参数指标皆通过控制洁净室空调系统来实现,因此设计一套技术先进、运行稳定可靠且维护方便的空调控制系统便成为建造半导体晶圆厂洁净室时需要考虑的关键问题。本论文来源于国内某300mm半导体晶圆制造厂的FMCS(厂务中央监控系统)项目,提出了基于PLC的分布式控制系统在半导体洁净室技术中的实际应用方案,通过设置合理的控制算法,准确、实时的对温湿度及正压差等洁净室参数进行控制,减少其波动对生产工艺的影响,节能减排,并获得良好的经济效益。在控制方案中,结合焓湿图进行温湿度解耦,确定露点温度为洁净室控制指标并选取合理的露点温度计算方法;优化新风空调的空气处理过程,采用完全除湿模式,避免了在季节更替时期由加湿和除湿模式的频繁切换所产生的扰动,并设计了基于PID串级控制的露点温度控制模式;结合洁净室生产设备的工艺布局,采用PID串级控制实现正压差控制并提出新风空调机组的群控策略,保证洁净室新风量的持续稳定供应。控制方案中的PLC下位机系统采用公司的ControlLogix体系结构,PLC处理器主机架和控制层网络采用双冗余结构设计,实现了控制系统硬件故障下的无扰切换,程序设计做到了结构化和标准化;SCADA上位机系统采用GE Cimplicity(服务器/客户端)分布式网络架构及冗余设计,利用OPC通信的方式,实现多任务处理及多用户访问;短信报警系统能够将控制系统硬件故障、大型设备故障和洁净室参数超标等报警信息以短信的方式及时发送给操作维护人员进行紧急处理,增强了对现场设备的监控并缩短了故障响应时间。此系统自投运以来,运行状况良好,洁净室各参数波动均控制在允许范围之内,完全满足设计要求。

洁净室的控制参数有哪些?在洁净室内,按其用途的不同应控制下列参数:

1、空气中的洁净粒子浓度;

2、气流的风速和单向性(对单向气流而言);

3、不同洁净度级别的洁净室之间和洁净室与普通房间之间的压差;

4、最终过滤器的整体性;

5、洁净室经污染后空气洁净度的自净时间;

6、空气温度和湿度

7、洁净室的密闭性;

8、洁净室表面的洁净度;

9、静电荷和离子发散;

10、空气中和表面的微生物污染;

11、空气中和工艺的分子污染。